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日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵串行通信TG50F北崎熱賣(mài)

更新時(shí)間:2025-11-26      瀏覽次數(shù):297

TG50F


  • 任何方向

  • 緊湊尺寸

  • 節(jié)能

  • 快速啟動(dòng)

  • 用燃?xì)馀艢饪焖訇P(guān)閉

  • 用于沖擊氣流的堅(jiān)固結(jié)構(gòu)

  • 串行通信

※RS232C 串行接口

TG50F

應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)

  • 電子槍排氣,電離源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理,表面改性

  • 各種電子元件的制造

  • 分析與測(cè)試設(shè)備

  • 燈具生產(chǎn),光學(xué)元件生產(chǎn)

  • 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究與開(kāi)發(fā)

*如果排放腐蝕性氣體,請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。

TG50F
進(jìn)氣法蘭VG65/ISO-R63/CF63
流量N2(L/s)51
N2(帶防護(hù)
屏障)(L/s)
49
H2(L/s)12
壓縮比N21.4×107
H25×102
基壓VG?ISO-R/CF(賓夕法尼亞州)<3×10-6
VG?ISO-R/CF(托爾)<2.3×10-8
吞吐量※1N2(SCCM)80
啟動(dòng)時(shí)間(分鐘)1-1.5
停工時(shí)間(分鐘)1-1.5
背壓(帕/托爾)1330/10
推薦的倒吸真空泵(L/min)≧50
位置任何方向
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
控制器TC64

*1:使用100升/分鐘的備份真空泵時(shí)。

[環(huán)境溫度使用]

確保達(dá)到最終壓力的環(huán)境溫度范圍為10-23°C。允許的環(huán)境溫度為空氣冷卻類(lèi)型為10-32°C,水冷類(lèi)型為10-40°C。確保最終壓力的冷卻水溫度為30°C,冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對(duì)應(yīng)氣體]

一些服務(wù)氣體會(huì)腐蝕潤(rùn)滑脂和內(nèi)部部件。請(qǐng)聯(lián)系大阪真空,獲取適用的燃?xì)忸?lèi)型列表。



電話:TEL

86-010-67868591

地址:ADDRESS

朝陽(yáng)區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號(hào)樓406B

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