北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司業(yè)務(wù)簡介

更新時間：2026-06-05

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北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司供貨

北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司（簡稱“七星華創(chuàng)"）是北方華創(chuàng)科技集團旗下的核心子公司，專注于集成電路制造裝備的研發(fā)與生產(chǎn)。

主要業(yè)務(wù)：為晶圓制造、先進封裝、微機電系統(tǒng)等領(lǐng)域提供關(guān)鍵工藝設(shè)備，核心產(chǎn)品包括刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備（PVD、CVD）、氧化/擴散爐及清洗機等。

關(guān)鍵設(shè)備與工藝：

刻蝕設(shè)備：用于在硅片上精密去除材料，形成納米級電路圖形，支持硅、介質(zhì)及金屬刻蝕。

薄膜沉積設(shè)備：通過物理或化學(xué)氣相沉積（PVD/CVD），在晶圓表面生長導(dǎo)電或絕緣薄膜，用于互連和介質(zhì)層制備。

擴散/氧化爐：實現(xiàn)高溫摻雜（如磷、硼擴散）和氧化層生長，控制器件電學(xué)性能。

單片/槽式清洗機：去除工藝中的顆粒與金屬污染，保障良率。

公司產(chǎn)品已進入國內(nèi)主流晶圓廠生產(chǎn)線，在28nm及以上制程實現(xiàn)量產(chǎn)，部分設(shè)備突破14nm，是國產(chǎn)化替代的關(guān)鍵力量。

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